Mi az a fotolitográfia?
A fotolitográfia az integrált áramkörök (IC-k vagy chipek) előállításának egyik fontos folyamata. Egyszerűen fogalmazva, ez egy áramköri minta másolása egy hordozóra a fotomaszk és a fotoreziszt segítségével.
Az aljzatot szilícium-dioxid szigetelőrétegre és fotorezisztre festjük. A fotoreziszt UV fény hatására előhívóval könnyen feloldható, feloldás és maratás után az áramköri mintázat az alapfelületen marad.
Mi az a Photoresist? Miért kell az 500 nm-es UV hullámhossznak leállnia?
A fotoreziszt gyantákkal, oldószerekkel és adalékanyagokkal kombinálják. A fotoreziszt fényérzékeny tartománya 200nm{1}}nm. Ezért sok félvezető laboratórium sárga fényt alkalmaz, amely blokkolja az 500 nm-es UV-hullámhosszt, hogy megakadályozza a túlexponált vagy idő előtti exponálást.
